丁桂甫

丁桂甫的个人简介

丁桂甫，上海交通大学微纳科学技术研究院博士生导师，教授 1963年10月生，1980年入复旦大学化学系，1987年硕士毕业后入，任“微米/纳米加工技术”国家级重点实验室副主任。

个人简介

多年来一直从事微电子机械系统（MEMS）传感器与执行器的设计、仿真与制造技术研究，并结合纳米材料的特性研究，开展微纳系统（NEMS/MEMS）器件的集成与应用开发研究。作为课题组长或主要人员先后完成了多项国家或省部级重大科研项目，如“863”、自然科学基金、上海市科委专项基金等，包括MEMS微机械加速度开关、电磁微机械继电器、基于多元UV-LIGA技术的RF MEMS、生物微纳系统、MEMS集成光纤连接器、碳纳米管场发射（FET）集成器件、电磁微型马达、电热微驱动执行器等。近年来在国内外重要学术期刊或会议上发表论文百余篇，被SCI、EI收录70多篇，他引40余次，申请发明专利60多项，近30项已获授权，其中技术成果转让3项。2004年获 得上海市育才奖，2007年获上海市技术发明一等奖，并于2000和2008年先后两次获得国家科技进步二等奖。

研究方向

微电子机械系统设计、仿真与制造（Design, Simulation and Fabrication of MEMS）：微机械加速度传感器件、电热微驱动器

微纳系统器件集成与开发（Integration and Application of NEMS）：微纳场发射器件、微流体芯片

射频MEMS系统（RF MEMS）：RF开关、移相器、微波/毫米波天线

参与作品

单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成汪红，汤俊，刘瑞，陈晖，丁桂甫上海交通大学 微纳科学技术研究院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 微米/纳米加工国家重点实验室，上海 200240摘要： 为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试，开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先，根据有限元模拟优化设计测试样片，使其能够易于夹持、准确对中，以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成，以Visual Basic为平台编译了一套数据采集与分析系统。最后，应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明，该系统能够精确测试试样应变，精度达到0.01 μm，拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94.5 GPa,抗拉强度约为1.76 GPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。关键词： 材料力学测试微机电系统单轴微拉伸 有限元模拟 UV-LIGA杨氏模量镍